Piezo微步进执行器的时间响应分析

作     者：周自强 胡朝斌 马文斌 沈世德 易风 ZHOU Zi-qiang;HU Chao-bin;MA Wen-bin;SHEN Shi-de;YI Feng

作者机构：常熟理工学院机电工程系江苏常熟215500 

基　　金：江苏省教育厅自然科学基金(06KJD460004)资助项目 

出 版 物：《常熟理工学院学报》 (Journal of Changshu Institute of Technology)

年 卷 期：2007年第21卷第10期

页      码：92-95页

摘      要：提出了一种新型二维超精密微步进工作台的结构形式,并针对该结构设计了相应的微步进执行器.以新型功能材料Piezo作为驱动元件,分析了微步进执行器的机电耦合模型,在此基础上对其时间响应进行了分析,总结了时间响应的影响因素,同时提出了相应的解决方法.

主 题 词：超精密 微步进 时间响应 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1008-2794.2007.10.022

馆 藏 号：203378685...