基于柔性衬底的人造视网膜生物微电极阵列研究

作     者：刘舒维 陈迪 柴新禹 刘景全 陈翔 朱军 任秋实 LIU Shu-wei;CHEN Di;CHAI Xin-yu;LIU Jing-quan;CHEN Xiang;ZHU Jun;REN Qiu-shi

作者机构：上海交通大学微纳科技研究院微米／纳米加工技术国家级实验室上海200030 上海交通大学生命科学技术学院上海200030 

基　　金：国家863、973计划资助项目(2006AA04Z356 2006AA04Z308 2005CB724302) 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2008年第21卷第4期

页      码：550-552页

摘      要：设计了一种用于刺激视网膜的生物微电极阵列,采用非硅MEMS技术,在聚酰亚胺柔性衬底上制备出了具有一定生物相容性的,电极数为20的生物刺激电极阵列,并成功实现了器件从基底的完整释放。实验中采用了二次曝光法,用金修饰了电极柱侧壁,从而提高了电极的生物相容性;采用PDMS作为柔性衬底与玻璃片的粘附层,使得器件的释放过程,简单且无毒无害,对器件也无损害。制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好。对微电极阵列进行了电学性能测试,在10-5000Hz频率范围,其阻抗为10^4-10^6欧姆,符合电刺激要求。

主 题 词：生物电极 生物相容性 MEMS技术 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.003

馆 藏 号：203378832...