大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术

作     者：白云波 周游 刘世杰 邵建达 徐隆波 Bai Yunbo;Zhou You;Liu Shijie;Shao Jianda;Xu Longbo

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室上海201800 南京理工大学电子工程与光电技术学院江苏南京210094 

基　　金：国家自然科学基金(11602280) 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2018年第38卷第9期

页      码：201-206页

摘      要：提出了基于600mm口径干涉仪的一维子孔径拼接测量方法,通过像素错位误差模拟分析结果,设计并研制了一维大行程气浮型精密扫描拼接平台,实现了对角线接近1m的大口径激光玻璃的全口径光学均匀性拼接检测,并对该技术的拼接测量精度和重复性进行了验证。结果表明:拼接结果平滑,均匀性拼接测量与直接测量结果的相对误差优于2×10-7,全口径均匀性的重复性优于4×10-8,单口径均匀性测量结果与拼接后相同区域的均匀性结果最大差异为2×10-7。

主 题 词：测量 光学均匀性 拼接检测 激光玻璃 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/AOS201838.0912004

馆 藏 号：203379123...