半导体用超净试剂的种类和应用

作     者：俞亚君 丁建良 

作者机构：无锡化工研究设计院214031 

出 版 物：《化工时刊》 (Chemical Industry Times)

年 卷 期：1998年第12卷第11期

页      码：12-16页

摘      要：评论了半导体用超净试剂的应用、种类、作用、纯度、检测方法和市场。

主 题 词：超净试剂 半导体 试剂 材料 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203379636...