聚合物光波导45°反射面形成工艺研究

作     者：赵飞 陈雨 肖垣明 卢立东 ZHAO Fei;CHEN Yu;XIAO Yuanming;LU Lidong

作者机构：中国电子科技集团公司第五十四研究所河北石家庄050081 河北诺亚人力资源开发有限公司河北石家庄050035 

基　　金：国防科工局预研基金项目(项目编号:HX165240001) 

出 版 物：《电子工艺技术》 (Electronics Process Technology)

年 卷 期：2018年第39卷第5期

页      码：265-268页

摘      要：为了降低传输中的损耗,基于聚合物光波导实现光互连以满足系统应用。基于聚合物光波导传输理论,设计了含45°角的传输结构,梳理了制备流程。针对聚合物光波导45°反射面制备难题,通过前处理、包层光刻、芯层匀胶和芯层曝光等技术,获得线宽精度高和传输损耗低的光波导结构。通过对该结果测试表明,传输特性满足使用要求,可作为通信的重要手段。

主 题 词：光波导 45°反射面 互连 前处理 光刻 传输损耗 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.14176/j.issn.1001-3474.2018.05.005

馆 藏 号：203379741...