简谈多晶硅副产物四氯化硅的利用途径

作     者：唐玉泉 李光茜 董涛 TANG Yuquan;LI Guangqian;DONG Tao

作者机构：昆明冶研新材料股份有限公司云南昆明650031 光明化工研究设计院辽宁大连116031 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2010年第28卷第4期

页      码：10-13页

摘      要：随着国内多晶硅产业的蓬勃发展,多晶硅主要副产物四氯化硅的环境污染问题日益突出。有效利用四氯化硅、减少环境污染是当前必须要解决的首要问题。探讨了目前多晶硅生产中副产物四氯化硅的利用途径。

主 题 词：多晶硅 副产物 四氯化硅 利用途径 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2010.04.004

馆 藏 号：203379790...