激光雷达测距系统中滤光片的制备(英文)

作     者：李珊 付秀华 苏佳妮 赵缨慰 LI Shan;FU Xiu-hua;SU Jia-ni;ZHAO Ying-wei

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 

基　　金：吉林省科技发展计划资助项目(20086012) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2010年第39卷第5期

页      码：853-856页

摘      要：针对激光雷达测距系统的使用要求,通过对镀膜材料的光学特性、膜系设计和监控方法的分析,优化工艺参数,采用电子束真空镀膜的方法,同时加离子辅助系统,选用TiO2和SiO2氧化物硬质薄膜材料在HB830颜色玻璃基底上镀制窄带滤光膜。用maclod灵敏度算法分析膜层的相对灵敏度,减小厚度监控误差,改进制备工艺过程,寻求膜系的最佳控制方法。所镀膜层在垂直入射的条件下,905 nm波长的透过率达86%以上,半峰值宽度为23 nm,并且通过提高膜厚控制精度解决了中心波长漂移、膜层吸收等问题。该膜层能够承受激光光源的照射,抵御恶劣的使用环境。

主 题 词：薄膜 窄带滤光膜 膜厚监控 相对灵敏度 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2010.05.015

馆 藏 号：203379889...