接触式电容微加速度传感器的设计与分析(英文)

作     者：刘妤 陈松 顾雯雯 LIU Yu;CHEN Song;GU Wenwen

作者机构：重庆理工大学机械工程学院重庆400054 西南大学工程技术学院重庆400044 

基　　金：重庆理工大学启动基金项目 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2014年第27卷第2期

页      码：158-161页

摘      要：设计了一种新型接触式电容微加速度传感器。针对传感器结构,建立了考虑接触效应的周边固支圆形膜片在载荷作用下与基底"接触"前后的简化分析模型,并给出了接触半径的计算公式。为接触式传感器的研制奠定了理论基础。

主 题 词：MEMS加速度传感器 接触式 电容传感 圆膜片 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2014.02.002

馆 藏 号：203381443...