用反应离子刻蚀制备的纯位相片将高斯型激光束变换为均匀束

作     者：张静娟 羊国光 许超 廉德亮 陈俊本 霍裕平 高士平 陈宝钦 ZHANG JING-JUAN YANG GUO-GUANG XU CHAO LIANDE-LIANGGraduale School, Academia Sinica, Beijing 100039CHEN JUN-BEN HUO YU PINGPlasma Physics Institute, Academia Sintca, Hefei 230031GAO SHI-PING CHEN BAO-QINResearch Center of Microelectronics. Academta Sintca, Beijing 100010

作者机构：中国科学院研究生院北京100039 中国科学院等离子体研究所合肥230031 中国科学院微电子研究中心北京100010 

基　　金：国家自然科学基金 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：1992年第41卷第12期

页      码：1961-1967页

摘      要：用光学变换一般理论设计出仅用两个纯位相片构成的光学系统可以将高斯型激光束变换为均匀束。本文对两个纯位相片的位相分布函数进行了计算并设计出10台阶量化的纯位相片。制备纯位相片的方法是采用超大规模集成电路中微细加工技术。实验结果表明能量转换效率高于95％,输出波形与理论计算一致。

主 题 词：激光基础 光学变换 纯位相片 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203381574...