基于微弯曲法的微梁力学性能测试

作     者：张宏翔 张侦英 郭志明 李波 李龙星 

作者机构：晋西防务装备研究院山西太原 兵器科学研究院北京 中北大学机电工程学院山西太原 

出 版 物：《机械工程与技术》 (Mechanical Engineering and Technology)

年 卷 期：2018年第7卷第4期

页      码：267-277页

摘      要：针对微梁结构的MEMS器件,基于微力传感探针模块、Femto Tools微操纵模块、CCD光学显微摄像头搭建的微弯曲法力学测试系统,采用微弯曲法,实现了对某SOI基“扭梁 + 悬臂梁”结构的微梁力学性能测试,提出测试系统自身形变所引起的系统误差的消除方法,通过建立微梁的力学模型,结合实测数据计算出该微梁的弹性模量为152.62 GPa,为微器件的设计仿真提供实测参数。

主 题 词：MEMS器件 微弯曲 力学性能 微梁 弹性模量 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 100214[100214] 10[医学] 

D　O　I：10.12677/MET.2018.74033

馆 藏 号：203384662...