阳极层离子源的发展及应用

作     者：冉彪 李刘合 RAN Biao;LI Liu-he

作者机构：北京航空航天大学机械工程及自动化学院北京100191 

基　　金：装备预研领域基金(61409230602) 

出 版 物：《真空》 (Vacuum)

年 卷 期：2018年第55卷第5期

页      码：51-57页

摘      要：阳极层离子源结构简单,束流密度大,离子能量可控,在大面积表面改性处理方面具有独特的优势,还可应用于离子束辅助沉积、基片刻蚀和表面清洗等领域。本文回顾了阳极层离子源的起源和发展历程,介绍了阳极层离子源的工作原理和研究现状,讨论了阳极层离子源的电磁场的设计、电磁场模拟和气体放电模拟等关键设计方法,概述了阳极层离子源的应用现状,并对阳极层离子源的发展和应用前景进行了展望。

主 题 词：阳极层离子源 电磁场 等离子体 表面改性 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.13385/j.cnki.vacuum.2018.05.11

馆 藏 号：203385027...