EB-PVD设备灯丝加热电源的研制

作     者：桑兴华 许海鹰 邢一思 姜春竹 张伟 彭勇 

作者机构：中国航空制造技术研究院北京 南京理工大学江苏南京 北京航空航天大学北京 

基　　金：中国航空工业集团创新基金资助项目(2013E62519) 

出 版 物：《电路与系统》 (Open Journal of Circuits and Systems)

年 卷 期：2018年第7卷第3期

页      码：67-74页

摘      要：稳定可靠的灯丝加热电源是保障EB-PVD设备长期稳定工作的关键部件之一,采用三级AC-DC拓扑、低漏感的灯丝变压器、双闭环控制策略设计制造了灯丝加热电源。并将所研制灯丝加热电源与EB-PVD设备其它部件等进行系统集成,组成EB-PVD试验装置,对所研制灯丝加热变压器输入电压波形和最大输出电流进行检测,灯丝加热电流达到150 A以上;并且在此装置上测试了灯丝加热电流与输出电子束流的对应关系。试验结果表明:所研制的灯丝加热电源能够满足EB-PVD设备工作需求。

主 题 词：EB-PVD设备 灯丝加热电源 变压器 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.12677/OJCS.2018.73009

馆 藏 号：203385038...