半导体混合产品批间控制的理论与实验研究

作     者：郑英 王彦吨 Zheng Ying;Wang Yandun

作者机构：华中科技大学控制科学与工程系武汉430074 中煤国际工程集团武汉设计研究院武汉430064 

基　　金：国家自然基金资助项目(60604030,60704035) 湖北省自然基金资助项目(2005ABA252) 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2008年第33卷第5期

页      码：454-457页

摘      要：提出了用一种半导体工业用双产品模型来研究基于机台和基于产品的控制方法。在此基础上,得到了闭环系统的输出,评估了控制性能。由于NH3的挥发类似于半导体工业的机台漂移,因此对纳米级SiO2粒子进行了实验研究。在氨溶液挥发的影响下制造不同大小的SiO2粒子,以模拟在机台干扰下生产不同产品。实验研究证实了理论结果,即基于机台的方法有时不稳定,而基于产品的方法是稳定的。

主 题 词：批间控制 基于机台的控制方法 基于产品的控制方法 二氧化硅粒子大小控制 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-353X.2008.05.024

馆 藏 号：203386274...