Ⅲ-Ⅴ族(含氮化物)合金体系热、动力学计算机辅助分析系统

作     者：张维敬 李长荣 

作者机构：北京科技大学北京100083 

出 版 物：《材料导报》 (Materials Reports)

年 卷 期：2001年第15卷第2期

页      码：3-4页

摘      要：本项目以Ⅲ-Ⅴ族合金化合物半导体外延生长工艺设计为应用背景,建立了含Al-Ga-In-N-P-As-Sb-C-H等体系的Ⅲ-Ⅴ族合金化合物半导体热力学数据库。该库具有以下特点:①库中的数据都是根据严格的热力学关系,通过对体系中各种热力学性质和相平衡数据进行自洽性评估,而后取得体系中各相的热力学参数。②入库的数据与国际接轨,特别是与国际上热力学数据专门委员会——欧洲热化学学科组(SGTE)的数据相一致,有利于今后的发展和相互之间的交流;③数据库具有允许扩充。

主 题 词：Ⅲ-Ⅴ族合金化合物半导体 热力学数据库 外延生长工艺 设计 

学科分类：080903[080903] 12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1005-023X.2001.02.004

馆 藏 号：203386382...