双复眼透镜间相对位置误差对光束匀化的影响

作     者：黄威 尉昊赟 李岩 HUANG Wei;WEI Hao-yun;LI Yan

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基　　金：国家重大科技专项基金资助项目(2009ZX02037-002) 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2013年第37卷第1期

页      码：11-15页

摘      要：为了在激光退火工作面上获得高均匀度光斑,研究了双复眼透镜阵列光束匀化法中两透镜阵列间相对位置变化对匀化性能的影响。利用光线追迹方法,模拟了双复眼透镜阵列间6个自由度的相对位置误差与光束匀化效果的依赖关系,发现第二复眼透镜阵列的滚转角偏差是影响光束匀化质量的最敏感因素。为实现较好的匀化效果,需要对复眼透镜阵列位置进行精确控制。结果表明,使用专用镜架对透镜位置进行精确控制后,光束均匀度达到0.039。该系统成功应用于激光退火装置,实现了超浅结激光退火。

主 题 词：光学设计与制造 光束匀化 仿真与实验 激光退火 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/jgjs.issn.1001-3806.2013.01.003

馆 藏 号：203387153...