辉光放电清洗在同步辐射光束线上的应用

作     者：李波 陈明 吴佳兴 刘俊男 薛松 LI Bo;CHEN Ming;WU Jia-xing;LIU Jun-nan;XUE Song

作者机构：中国科学院上海应用物理研究所上海201204 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项(No.Y319071061) 中国科学院上海应用物理研究所青年学者发展协作组资助项目(No.Y329051061) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2018年第26卷第10期

页      码：2389-2394页

摘      要：同步辐射光束线上存在的碳污染是影响光束线特别是软X光束线传输效率的重要原因,污染的生成与镜箱腔壁上存在有少量的油有关。为了获得更加洁净的真空室,通过辉光放电对镜箱真空室壁进行清洗,力争从源头上减少光学元件碳污染的产生。设计并搭建了一套应用在同步辐射光束线镜箱上的辉光放电清洗系统,并研究了装置在不同真空度下辉光的伏安特性。利用四极质谱对辉光放电前后及过程中镜箱内的残气进行分析。研究得出,真空室表面残留油分子的初步裂解产物主要是分子量为69的粒子。通过辉光放电清洗,真空室内残存的微量油大分子的(分子量为39,41,43,55,57,69,71)减少幅度达到50%。辉光放电清洗对真空腔体内表面油分子有明显的去除效果。本文研究的内容对于减少光束线站特别是软X射线光束线上碳污染具有重要意义。

主 题 词：同步辐射光束线 碳污染 质谱分析 辉光放电清洗 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/OPE.20182610.2389

馆 藏 号：203389375...