热电式MEMS微波功率传感器结构优化的研究

作     者：戴瑞萍 张焕卿 陆颢瓒 白雪婧 王德波 Dai Ruiping;Zhang Huanqing;Lu Haozan;Bai Xuejing;Wang Debo

作者机构：南京邮电大学电子与光学工程学院 

基　　金：国家青年自然科学基金(61704086) 江苏省青年自然科学基金(BK20140890) 南京邮电大学国自基金孵化(NY215139,NY217039)项目资助 

出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)

年 卷 期：2018年第39卷第10期

页      码：202-210页

摘      要：为了改善热电式微电子机械系统（MEMS）微波功率传感器的综合性能,研究了负载电阻与热电堆的间距、衬底背面刻蚀的厚度、长度以及热偶长度4个结构参数,将传感器分成3个区域讨论,建立了热电式MEMS微波功率传感器的灵敏度解析模型。此外,还研究了热电式MEMS微波功率传感器的时间常数模型,传感器的时间常数由负载电阻和热电堆的时间常数组成。最后,根据理论模型分析得出当减小负载电阻与热电堆的间距、增加背面刻蚀厚度、长度以及热偶长度为400μm时,能在保持较小的时间常数的情况下提高灵敏度,从而改善热电式MEMS微波功率传感器的综合性能,这对热电式MEMS微波功率传感器的结构参数的设计与优化具有一定的参考价值和指导意义。

主 题 词：微机电系统 功率传感器 灵敏度 时间常数 理论模型 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.19650/j.cnki.cjsi.J1803956

馆 藏 号：203391461...