精密激光刻划机中的光学技术

作     者：张秋鄂 李永正 

作者机构：长春光学精密机械学院 

出 版 物：《长春光学精密机械学院学报》 (Journal of Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics)

年 卷 期：1997年第20卷第4期

页      码：43-45页

摘      要：本文介绍的工作台用计算机结合光电编码器控制伺服电机驱动的精密激光刻划机，运用激光轴予偏置以适应非平面工件刻划，以激光或不同线密度改变刻线宽度，用微光点指示工位等光学技术，有效地提高了整机的高精度高质量刻划性能。

主 题 词：激光刻划机 刻划 光学技术 设计特征 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

馆 藏 号：203394363...