基于T861测试系统的皮安级漏电流测试方法

作     者：韩先虎 张凯虹 王建超 郭晓宇 Han Xianhu;Zhang Kaihong;Wang Jianchao;Guo Xiaoyu

作者机构：中国电子科技集团公司第五十八研究所 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2018年第43卷第11期

页      码：876-880页

摘      要：目前模拟开关的漏电流已达到皮安级,而传统的模拟集成电路测试系统的最小测量精度一般为纳安级,无法满足测试要求。研究了基于宏邦T861数模混合集成电路测试系统的皮安级漏电流测试方法。以ADG436型模拟开关电路为例,利用I-V转换方法设计了基于T861测试系统的漏电流测试方案,实现了基于测试系统对模拟开关皮安级漏电流进行测试。与使用安捷伦B1500A对ADG436电路的漏电流测试结果进行了对比,两者一致性较好。实验结果表明,基于T861测试系统的I-V转换方法测试模拟开关的漏电流具有较高的测量精度,能够满足ADG436型模拟开关的皮安级漏电流测试需求。

主 题 词：模拟开关 I-V转换 T861 漏电流 ADG436 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2018.11.013

馆 藏 号：203395025...