基于参数激励的MEMS环式陀螺驱动方法与实现

作     者：钱磊 赵鹤鸣 张晓峰 徐大诚 Qian Lei;Zhao Heming;Zhang Xiaofeng;Xu Dacheng

作者机构：苏州大学微纳传感技术研究中心江苏苏州215006 

出 版 物：《计算机测量与控制》 (Computer Measurement &Control)

年 卷 期：2018年第26卷第11期

页      码：293-296,302页

摘      要：MEMS环式陀螺仪是一种基于哥氏力效应设计出的测量角速度的惯性传感器,其性能与驱动模态直接相关;因此,在传统PLL-AGC驱动控制方法中引入参数激励信号,按照参数激励法驱动陀螺仪,陀螺仪的刚度产生周期性变化,降低驱动信号从而抑制因电馈通导致的驱动端对敏感端产生的误差信号,提高陀螺仪灵敏度;对参数激励的效果进行研究,经实验表明,通过改变参数激励信号的参数,可在驱动响应稳定的前提下对驱动信号进行抑制,在实际测试中驱动信号的幅值下降22.75%。

主 题 词：MEMS环式陀螺 驱动方法 参数激励 电馈通 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.16526/j.cnki.11-4762/tp.2018.11.064

馆 藏 号：203395275...