微型光纤磁传感器的设计与制作

作     者：龙亮 钟少龙 徐静 吴亚明 LONG Liang;ZHONG Shao-long;XU jing;WU Ya-ming

作者机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室微系统技术重点实验室上海200050 中国科学院大学微系统与信息技术学院上海200050 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项资金资助项目(No.2012YQ250002) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2013年第21卷第9期

页      码：2294-2302页

摘      要：提出了一种基于微机电系统(MEMS)扭镜结构的光纤磁场传感器,并利用对角度变化非常敏感的双光纤准直器对扭镜的扭转角度进行了检测。该MEMS光纤磁传感器由MEMS扭镜结构、磁性敏感薄膜和双光纤准直器组成。文中分析了器件的磁敏感原理和光纤检测原理,介绍了器件综合设计方法,并给出了器件的结构参数。利用MEMS加工技术成功制作出了MEMS光纤磁传感器样品,最终得到的磁传感器的尺寸为3.7 mm×2.7 mm×0.5 mm。对磁传感器进行了实验测试,得到的输出实验值与理论值吻合。测试结果表明,该磁传感器的光纤检测灵敏度可达到0.65 dB/mT,最小可分辨磁场可达167 nT。将MEMS敏感结构与光纤检测相结合,该传感器兼备了两者的优点,结构紧凑、制作工艺简单、工作时无需电流激励。

主 题 词：光纤传感器 磁传感器 微机电系统 光纤检测 磁性薄膜 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 080802[080802] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20132109.2294

馆 藏 号：203396666...