时分复用数字闭环电容式微加速度计接口电路

作     者：储宜兴 池保勇 刘云峰 董景新 CHU Yi-xing;CHI Bao-yong;LIU Yun-feng;DONG Jing-xin

作者机构：清华大学精密仪器系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 清华大学微电子学研究所北京100084 

基　　金：十二五预研资助项目(No.20114113015) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2015年第23卷第12期

页      码：3350-3356页

摘      要：为实现电容式微加速度计的数字输出闭环,设计了一种数字输出闭环ASIC(Application Specific Integrated Circuit)接口电路,以降低电路输出噪声并提高测量量程。对已有的电容式微加速度计ASIC电路进行了改进,分时段在中间极板上加载差分电容读出信号和由脉宽调变(PWM)波控制的反馈信号,然后由控制器实现闭环,利用Sigma Delta调制器实现模数转换。通过分析差分电容读出电路和Sigma Delta调制器的原理和特性,建立了该数字输出闭环电容式微加速度计的模型,进行了系统的设计与仿真。实验结果表明,该数字输出闭环电容式微加速度计的噪声水平为9.6μg/√Hz,量程为±3g。这些结果验证了时分复用方案的可行性和本文所提出模型的正确性。

主 题 词：电容式微加速度计 数字闭环 接口电路 Sigma Delta调制器 时分复用 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 081105[081105] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/ope.20152312.3350

馆 藏 号：203397755...