多晶Si太阳电池表面酸腐蚀制绒的研究

作     者：肖文明 檀柏梅 刘玉岭 牛新环 边征 Xiao Wenming;Tan Baimei;Liu Yuling;Niu Xinhuan;Bian Zheng

作者机构：河北工业大学微电子研究所天津300130 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2009年第46卷第10期

页      码：627-631页

摘      要：研究了采用HF和HNO3非择优腐蚀多晶硅表面制备绒面的机理。通过实验分析了酸混合液的体积浓度配比、添加剂、温度和时间等因素对腐蚀速率和腐蚀后表面形貌的影响;总结出了多晶Si的酸腐蚀规律,得到了制备理想绒面的酸混合液体积配比(V(HF):V(HNO3):V(CH3COOH)=1∶12∶6)。在此基础上提出了优化设计方案:采用廉价的水代替醋酸作为缓蚀剂,腐蚀过程置于超声槽中进行,利用超声波的振动使反应生成的气泡快速脱离多晶Si片表面,同时使腐蚀液浓度分布更加均匀,从而制备出效果更佳的多晶Si绒面。

主 题 词：多晶硅太阳电池 酸腐蚀 表面形貌 腐蚀速率 多晶硅片制绒 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2009.10.010

馆 藏 号：203401691...