中心波长121．6nm的真空紫外窄带滤光片设计和制备

作     者：付联效 吴永刚 郑秀萍 王振华 彭东功 焦宏飞 曹鸿 吕刚 周洪军 霍同林 Fu Lianxiao;Wu Yonggang;Zheng Xiuping;Wang Zhenhua;Peng Donggong;Jiao Hongfei;Cao Hong;LV Gang;Zhou Hongjun;Huo Tonglin

作者机构：同济大学精密光学工程技术研究所上海200092 合肥国家同步辐射实验室合肥230029 

基　　金：国家自然科学基金(10576021) 中国工程物理研究院联合资助项目 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2008年第28卷第12期

页      码：2427-2430页

摘      要：采用双半波法布里-珀罗(F-P)干涉滤光片结构设计了中心波长在121.6nm的窄带滤光片,其峰值透射率为6.78%,通带半宽度为10.7nm。通过设计、制备和测量峰值波长在217nm的滤光片验证了设计用到的光学常数和膜厚定标都比较精确。在此基础上制备了121.6nm的窄带滤光片,到合肥同步辐射实验室测量的结果是中心波长在120.74nm,峰值透射率为5.94%,通带半宽度为12nm。可以看出实际制备的滤光片和预先设计的基本吻合但还是有一定的偏差,最后对实际测量的和理论设计的偏差进行了分析。

主 题 词：薄膜光学 窄带滤光片 峰值透射率 通带半宽度 制备 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/aos20082812.2427

馆 藏 号：203402303...