干涉仪准直系统波前质量检测

作     者：武旭华 陈磊 肖韶荣 WU Xu-hua;CHEN Lei;XIAO Shao-rong

作者机构：南京信息工程大学电子与信息工程学院江苏南京210044 南京理工大学电光学院江苏南京210094 

基　　金：江苏省“六大人才高峰”项目(06-E-030) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2008年第37卷第1期

页      码：106-110页

摘      要：为保证干涉仪的测量精度需严格控制其准直光路中平行光束波前质量,以口径150 mm的扩束镜出射波面为测试对象在Zygo干涉仪上设计实验,采用五棱镜扫描法逐条测试扩束镜某一方向上出射波面法线的微小变化量,实现一种精度高而又经济的大口径波面测试。实验结果与Zygo的测试结果相吻合,证实了这种方法的可行性。同时分析了实验装置与环境对测试精度的影响。

主 题 词：波前检测 五棱镜 大口径准直光束 干涉仪 质心算法 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2008.01.025

馆 藏 号：203402496...