非晶金刚石离子镀膜机自动化控制系统的设计

作     者：李冬梅 赵玉清 赵华森 时立峰 

作者机构：西安交通大学电子与科学技术系陕西西安710049 

出 版 物：《真空电子技术》 (Vacuum Electronics)

年 卷 期：2004年第17卷第1期

页      码：20-24页

摘      要：结合非晶金刚石离子镀膜机的工艺特点和要求,介绍了一种成功应用的分布式控制系统的设计,重点讨论了控制系统的硬件配置、软件设计、通信服务程序以及软件编程中的几个控制算法。

主 题 词：控制系统 非晶金刚石离子镀膜机 MCS-96 组态王 通信协议 

学科分类：08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-8935.2004.01.006

馆 藏 号：203404574...