CDMS－1型电视线宽测量仪设计与检测

作     者：沈蓓军 丁生华 邹海兴 路敦武 杨良民 

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：1994年第2卷第1期

页      码：89-94页

摘      要：本文介绍了中科院上海光机所研制的ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量系统设计及检测。线宽测量技术主要用于集成电路生产的在线测量，以及掩模制造中的质量控制，ＣＤＭＳ一１型电视线宽测量仪利用计算机对集成电路图像进行数字处理，从而保证了仪器测量精度。经检测表明该系统的各项测试指标均达到原设计要求。

主 题 词：线宽测量 光学计量仪器 集成电路 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

馆 藏 号：203408652...