PVD设备

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2006年第23卷第5期

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摘      要：Sigma fxP是一种单片式设备组，设计应用于批量PVD工艺。溅射淀积系统的工艺腔是在标准设计的基础上，通过简单地技术升级和晶圆尺寸转化而来的。主要的应用于后道和微／纳米技术。

主 题 词：设备 PVD VD工艺 设计应用 Sigma 标准设计 晶圆尺寸 技术升级 纳米技术 单片式 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

馆 藏 号：203409059...