波导层不连续的Love波延迟线

作     者：刘建生 刘明华 何世堂 LIU Jian-sheng;LIU Ming-hua;HE Shi-tang

作者机构：中国科学院声学研究所北京100190 

出 版 物：《仪表技术与传感器》 (Instrument Technique and Sensor)

年 卷 期：2009年第B11期

页      码：125-126页

摘      要：Love波传感器的波导层和吸附层通常是不同材料的,一般先在整个器件表面覆盖一层声波导层材料,然后在感应区域对应的波导层上涂镀吸附层,但是这样会增大延迟线的插入损耗。文中设计了一种不连续波导层的Love波延迟线,即在感应区域,吸附层直接镀在压电基片上,同时兼作声波导层;在其他区域覆盖声波导层材料。实验器件制作在ST-90°X石英晶体上,中间感应区域用Au作波导层和吸附层,其他区域采用SU-8光刻胶作声波导层,结果表明,采用这种结构的延迟线可以降低损耗2 dB以上。

主 题 词：Love波 延迟线 传感器 

学科分类：07[理学] 08[工学] 070206[070206] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1002-1841.2009.z1.039

馆 藏 号：203410341...