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非制冷微悬臂梁式红外焦平面探测器读出电路设计

非制冷微悬臂梁式红外焦平面探测器读出电路设计

作     者:曹君敏 陈中建 鲁文高 张雅聪 雷科 赵宝瑛 CAO Jun-Min;CHEN Zhong-Jian;LU Wen-Gao;ZHANG Ya-Cong;LEI Ke;ZHAO Bao-Ying

作者机构:北京大学微电子学系微电子器件与电路教育部重点实验室北京100871 

基  金:国家863高技术研究资助项目(2009AA04Z316) 

出 版 物:《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期:2010年第29卷第2期

页      码:97-101页

摘      要:针对非制冷微悬臂梁电容式红外探测器,设计了一款焦平面读出电路.根据电路噪声建模与分析,对电路进行了优化设计以抑制噪声.采用0.35μm的CMOS工艺设计,制造了16×16读出电路原型.测试结果表明,5V电源电压、50Hz帧频下电路总功耗为16.5mW,典型工作模式下线性度为99.2%,通道一致性大于97%,等效输入噪声电荷小于150e.

主 题 词:非制冷 红外焦平面阵列 微悬臂梁 读出电路 

学科分类:080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录:

D O I:10.3724/SP.J.1010.2010.00097

馆 藏 号:203410483...

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