离体电生理检测微电极阵列传感器的设计与制备(英文)

作     者：宋轶琳 林楠森 刘春秀 罗金平 王利 蔡新霞 SONG Yi-lin;LIN Nan-sen;LIU Chun-xiu;LUO Jin-ping;WANG Li;CAI Xin-xia

作者机构：中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室北京100190 中国科学院研究生院北京100190 

基　　金：国家重大科学研究计划资助项目(2011CB933202) 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2007AA04Z326) 国家自然科学基金资助项目(610270016,0801032) 中国科学院科研装备研制项目(Y2010015),中国科学院电子所创新项目(YOSQCX-9251),中国科学院电子所青年创新项目(07QNCX-9240) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2011年第9卷第3期

页      码：189-193页

摘      要：针对动物离体组织电生理检测的实际需求,设计并制备了一种以载玻片为基底,以微电极阵列为敏感元件,并将灌流装置集成一体的传感器芯片.采用微电子机械系统(MEMS)技术中的薄膜工艺完成了微电极阵列的制备,其导电层和绝缘层分别是铂和氮化硅.采用聚二甲基硅烷(PDMS)浇铸制成埋有管道的方形灌流槽.该传感器可保持离体组织的生理活性,同时实现电生理信号的64通道同步记录.整个芯片结构紧凑,接口简单,使用方便.对芯片的电学性能进行了研究,结果表明,通过在微电极表面电镀修饰铂黑,可有效降低其交流阻抗,提高信噪比.

主 题 词：微电极阵列 离体组织 电生理 MEMS 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2011.03.001

馆 藏 号：203411191...