某4.5代低温多晶硅有机电致发光显示器车间空调系统设计

作     者：郄雪红 Qie Xuehong

作者机构：世源科技工程有限公司 

出 版 物：《洁净与空调技术》 (Contamination Control & Air-Conditioning Technology)

年 卷 期：2014年第2期

页      码：77-80页

摘      要：介绍了工程概况,论述了该项目的特点:工艺车间空调设计参数要求高;新风处理过程较复杂;工艺生产环节之间相互污染的控制。

主 题 词：洁净室 温度控制 湿度控制 AMOLED 新风处理过程 

学科分类：080705[080705] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-3298.2014.02.020

馆 藏 号：203412416...