飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

作     者：蔡建文 潘雪涛 张美凤 孟飞 Cai Jianwen;Pan Xuetao;Zhang Meifeng;Meng Fei

作者机构：常州工学院光电工程学院江苏常州213002 常州现代光电技术研究院江苏常州213002 常州市光电子材料与器件重点实验室江苏常州213002 上海大学机电工程与自动化学院上海200072 

基　　金：常州现代光电技术研究院开放课题(CZGY008) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2015年第44卷第6期

页      码：1790-1793页

摘      要：飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制,基于横向超衍射理论和优化算法进行了研究和分析,完成了一种0-π结构四环横向相位板的设计。该相位板归一化半径为r1=0.16、r2=0.27、r3=0.49,获得的峰值能量S、焦斑尺寸GT、旁瓣能量MT分别为0.38、0.74、0.20。并且基于该相位板在激光微加工系统中进行了一种光致变色材料的相位板加入前后的对比加工实验,实验结果表明,在飞秒激光微加工系统中使用这种相位板可以有效地减小加工点的尺寸大小。

主 题 词：横向超分辨 飞秒激光 微加工 

学科分类：0808[工学-自动化类] 081704[081704] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 070304[070304] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0825[工学-环境科学与工程类] 0704[理学-天文学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2015.06.020

馆 藏 号：203412967...