一种抗大过载微型加速度计研究

作     者：曾昭君 石进杰 

作者机构：北京大学微电子研究所北京100871 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2003年第40卷第7期

页      码：281-283,288页

摘      要：讨论了一种抗大过载 (15 0 0 0 0 g)的微型加速度计 ,主要内容包括 :阐述加速度计的工作原理 ;设计一种新型十字梁的器件结构 ,并对这种结构进行抗大过载的冲击实验 ,以验证这种新型的结构对于大过载冲击的可靠性 ;进而利用ANSYS对器件进行模态分析 ,找出结构上应变最大的位置 ,并对结构尺寸进行优化 ;提供一种可能的电路版图说明 ,并对加速度计的灵敏性进行理论分析 ;

主 题 词：微型加速度计 MEMS 大过载 ANSYS 工作原理 

学科分类：080805[080805] 0808[工学-自动化类] 080202[080202] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2003.07.083

馆 藏 号：203413785...