采用椭偏法结合分光光度法研究极薄银的光学常数

作     者：牛江伟 潘永强 Niu Jiangwei;Pan Yongqiang

作者机构：西安工业大学光电工程学院陕西西安710021 

基　　金：陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JM6031) 陕西省教育厅重点项目(18JS054) 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2018年第39卷第6期

页      码：867-872页

摘      要：极薄银在滤光片、高反射镜等中有广泛的应用,其光学常数严重影响着膜系的特性。在室温条件下,采用电阻热蒸发技术分别在硅和玻璃基底上沉积5.3nm～26nm不同厚度的极薄银薄膜,用TalySurfCCI非接触式轮廓仪测量了薄膜的厚度,研究了不同厚度银薄膜的光学常数n和k。镀制厚度5.3nm、7.9nm、14.1nm、26.0nm的银薄膜,结果显示极薄银的光学常数与块状银光学常数不同,当膜厚小于14.1nm时,折射率n在380nm～600nm随波长增加而增加,在600nm～1 600nm随波长增加缓慢减小至趋于稳定值2.6;消光系数k在380nm～500nm随着波长增加而增加,在500nm～1 600nm随波长增加而缓慢减小至趋于0不变;当膜厚大于14.1nm时,折射率随波长增加而增加,消光系数随波长近似呈线性增加。整体上,膜厚增加时折射率减小且趋于块状银的折射率,k随厚度增加而增加并最终趋于块状膜。用此拟合的光学常数代入TFc膜系设计软件计算其透射率,发现与分光光度计测得的透射率吻合较好。

主 题 词：薄膜 极薄银 椭偏法 光学常数 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.5768/JAO201839.0603003

馆 藏 号：203414711...