玻璃基板光学检测仪器气浮工作台特性仿真研究

作     者：权露 陶晓杰 张群 张蓝 Quan Lu;Tao Xiaojie;Zhang Qun;Zhang Lan

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发专项项目(2013YQ220749) 

出 版 物：《现代制造工程》 (Modern Manufacturing Engineering)

年 卷 期：2018年第11期

页      码：107-111页

摘      要：针对2×2对称毛细管节流气浮工作台模型,运用Fluent数值仿真软件分析得到气膜区压力及速度分布、质量流量和承载力等特性,分析毛细管节流器间距、结构参数和供气压力对气浮工作台特性的影响。结果表明:不同节流器间距分布对质量流量影响不大,承载力随节流器间距增大而增大;节流器弯折角度变化对质量流量、承载力和静刚度影响不显著;质量流量和承载力随供气压力的增加而增加。分析结果为设计优化气浮工作台和实际工程需要提供了仿真数据参考。

主 题 词：气浮工作台 毛细管节流 静特性 Fluent数值仿真 

学科分类：080704[080704] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 

D　O　I：10.16731/j.cnki.1671-3133.2018.11.019

馆 藏 号：203416270...