基于各向同性干法刻蚀的大面积悬空Al膜制备

作     者：任子明 汤跃 赵菲 王任鑫 张国军 孟国栋 REN Ziming;TANG Yue;ZHAO Fei;WANG Renxin;ZHANG Guojun;MENG Guodong

作者机构：中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(NSFC 61604134) 博士后特别资助项目(2017T100171) 中北大学青年学术带头人资助项目 强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室专项经费资助项目(SKLIPR.1512) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2018年第40卷第6期

页      码：942-946页

摘      要：热声传感器随着多孔硅的热致超声发射现象的发现越来越受到关注。热声传感器通过改变器件表面热量而在周围空气中产生交变压力,从而向外发出声波。热声传感器的关键器件是悬空金属薄膜。制备大面积悬空薄膜释放有一定的难度,需要考虑金属薄膜本身的应力与粘附效应。该文提出了两种基于各向同性干法刻蚀的制备金属薄膜的方法,利用XeF2/SF6制备悬空Al膜。由于XeF2与SF6气体刻蚀硅时对于Al有较高的选择比,XeF2对于硅是各向同性刻蚀且有很高的刻蚀速率,而通过设置感应耦合等离子体(ICP)刻蚀机的参数也可利用SF6达到各向同性刻蚀。基于上述特点制备了悬空Al膜,设计相应的制备流程,探索XeF2刻蚀机与ICP刻蚀机合适的刻蚀参数。所制备的悬空Al膜平整、无杂质,具有良好的形貌。

主 题 词：热声传感器 薄膜制备 各向同性 大面积 悬空Al膜 

学科分类：080903[080903] 1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 082403[082403] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0703[理学-化学类] 0824[工学-林业工程类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2018.06.031

馆 藏 号：203416701...