长条形镜面面形拟合技术研究

作     者：闫力松 杨甬英 马冬林 韩西萌 YAN Li-song;YANG Yong-ying;MA Dong-lin;HAN Xi-meng

作者机构：浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 华中科技大学光电学院湖北武汉430074 中国航天科工集团第九总体设计部湖北武汉430000 

基　　金：国家自然科学基金(No.61036015) 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2018年第11卷第6期

页      码：1011-1016页

摘      要：为了解决长条形镜面面形拟合中各项不正交,无法在调整中利用像差指导计算机辅助装调的问题,本文建立了一套合理的拟合模型。该模型以矩阵求解正交化Zernike多项式系数为基础,将离散的数据点作为定义域,对已选取的Zernike项进行定义域内正交化计算,并以获得的各正交项为基底,实现对长条形镜面及其他异形光学镜面的正交化多项式拟合求解。进而确定在干涉检测中加工误差与装调误差的分离,为光学镜面的最终面形收敛提供保障。根据本文实验结果,对一口径600 mm×260 mm,PV与RMS值分别为5. 889λ及1. 002λ的长条形光学镜面进行拟合,利用Metropro去像散后,面形未得到收敛,PV与RMS值分别变为7. 448λ及1. 725λ。而采用本文算法处理后,其PV与RMS值分别收敛为4. 666λ及0. 679λ,验证了本文方法对于长条形镜面拟合的正确性。

主 题 词：干涉测量 面形拟合 长条形反射镜 正交化 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/CO.20181106.1011

馆 藏 号：203416895...