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双波长激光量块干涉仪研制

双波长激光量块干涉仪研制

作     者:蒋秀兰 祝逸庆 马建敏 傅云霞 蔡明钢 葛爱明 王青 陈磊 

作者机构:上海市计量测试技术研究院200040 南京理工大学电光学院210094 

出 版 物:《上海计量测试》 (Shanghai Measurement and Testing)

年 卷 期:2001年第28卷第5期

页      码:10-12页

摘      要:本文介绍了双波长激光量块干涉仪的工作原理 ,详细描述了仪器的光学、机械设计以及干涉图象处理和量块中心长度自动判读技术。该干涉仪满足 1等量块的测量不确定度要求 。

主 题 词:量块 干涉图象处理 小数重合法测量原理 自动化测量 双波长激光量块干涉仪 

学科分类:08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D O I:10.3969/j.issn.1673-2235.2001.05.002

馆 藏 号:203418892...

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