长度计量基础知识讲座(二十七) 第二十七讲 接触式干涉仪

作     者：顾耀宗 

作者机构：上海市计量测试技术研究院 

出 版 物：《上海计量测试》 (Shanghai Measurement and Testing)

年 卷 期：2011年第38卷第2期

页      码：55-56页

摘      要：第二十七讲 接触式干涉仪 1概述 接触式干涉仪（以下简称干涉仪）是应用光波干涉原理，采用微差比较测量法测量长度的高精度计量仪器。干涉仪由前苏联计量仪器专家乌威尔斯基设计并制造，因此通常称为乌氏干涉仪。干涉仪主要用于检定尺寸小于150mm的3等及以下量块的尺寸，也可以对其他高精度零件进行精密测量或作高精度测量的定位。

主 题 词：知识讲座 计量基础 长度 接触式干涉仪 比较测量法 高精度测量 计量仪器 乌氏干涉仪 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-2235.2011.02.016

馆 藏 号：203418892...