电极绝缘的压控型四轴静电悬浮支承技术

作     者：刘建华 王秋良 王晖 

作者机构：中国科学院电工研究所应用超导重点实验室北京100190 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50577063-50504013) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2012年第20卷第6期

页      码：729-733页

摘      要：基于经过绝缘化处理的支承电极,提出了压控型四轴静电悬浮支承系统的技术方案。首先给出了支承系统的位移测量电路,介绍了在极限工作条件下可以将执行器件功耗降低70%以上的低功耗的高压放大器。推导了电极绝缘条件下的静电力模型,并引入加权系数来表征电极覆盖绝缘膜对静电悬浮力的影响。根据建立的静电力模型设计了控制器并进行了悬浮实验。实验结果表明,支承系统实现了转子的稳定悬浮,说明在合理量化电极绝缘对测量系统和静电力模型的影响条件下,电极绝缘的静电悬浮支承系统可以实现正常工作。

主 题 词：静电支承 间隙电容 电极绝缘 电压控制 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0802[工学-机械学] 0825[工学-环境科学与工程类] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1005-6734.2012.06.022

馆 藏 号：203419898...