基于法布里-珀罗干涉的微悬臂偏移检测系统

作     者：黄剑 詹维纳 陈杨黎 卢景琦 HUANG Jian;ZHAN Wei-na;CHEN Yang-li;LU Jing-qi;LU Jing-qi

作者机构：武汉理工大学理学院物理系武汉430070 

基　　金：国家重大科学仪器设备开发项目(No.2013YQ160551)资助 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2018年第47卷第12期

页      码：109-115页

摘      要：提出了一种基于法布里-珀罗干涉的方法用于原子力显微镜微悬臂偏移量的检测.设计了一个球面反射镜与微悬臂组成的半球面布里-珀罗腔,并利用高单色性的激光器作为光源,激光光束在半球面布里-珀罗腔中多次反射并原路返回形成干涉.根据多光束干涉原理确定干涉光强与腔长之间的关系,利用强度解调的方法计算微悬臂的偏移量并反馈给原子力显微镜系统.最后根据该方案搭建一套微悬臂偏移检测系统,实验获得30nm的工作范围内99.9%的线性拟合度,微悬臂最小位移分辨力为0.26nm,实验结果和理论分析一致,证明了该系统的实用性.

主 题 词：位移测量 法布里-珀罗干涉仪 原子力显微镜 微悬臂 强度解调 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/gzxb20184712.1212003

馆 藏 号：203424179...