具有纳米分辨力二维超精密定位系统的研制

作     者：叶树亮 谭久彬 YE Shu-liang;TAN Jiu-bin

作者机构：哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(50275041) 

出 版 物：《哈尔滨工业大学学报》 (Journal of Harbin Institute of Technology)

年 卷 期：2005年第37卷第11期

页      码：1472-1475页

摘      要：针对传统超精密定位系统存在位移灵敏度、系统频响及重复定位精度难以兼顾的问题,设计并研制了一种具有纳米分辨力的二维超精密定位系统.系统集成平行四连杆结构双柔性二维工作台无间隙传动、双极性可伸缩压电陶瓷微位移驱动和纳米精度电容位移监测等先进技术,在微处理器控制下可实现纳米量级的定位.为改善传统PID控制方法存在的精度低、实时性差等缺陷,提出了一种结合定位过程中各阶段系统不同响应特性的比例、积分和微分(PID)参数自适应控制算法.结果表明:平行四连杆结构能有效地消除运动方向间的交叉耦合,确保了工作台在运动方向上的直线度;在30μm行程内,单轴位移分辨力优于1 nm,重复定位精度优于10 nm,最大行程时响应时间<1 s.

主 题 词：纳米分辨力 二维 超精密 定位系统 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0367-6234.2005.11.005

馆 藏 号：203424321...