一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计

作     者：宋飞 王欣 王奕松 陈兢 SONG Fei;WANG Xin;WANG Yi-song;CHEN Jing

作者机构：北京大学微电子学研究院北京100871 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2005年第3卷第4期

页      码：283-289页

摘      要：提出了一种新型高灵敏度横向电容式硅微加速度计．根据差分电容极板间正对面积的改变来检测加速度大小,保证输出电压与加速度之间的线性度．系统刚度可由静电力调节．为了提高电学灵敏度,在检测电容极板上设计高K介质层,增大了检测电容量,减小了杂散电容的影响．使用CoventorWare对本设计进行机械分析、力电耦合分析和模态分析,仿真结果与理论计算相吻合．加速度计使用简单的表面牺牲层工艺即可完成,具有很好的发展前景．

主 题 词：微机电系统 横向敏感 刚度调节 高K介质 电容式加速度计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2005.04.008

馆 藏 号：203424370...