微机械陀螺ASIC接口电路设计

作     者：刘晓为 莫冰 王超 谭晓昀 许晓巍 齐向昆 LIU Xiao-wei;MO Bing;WANG Chao;TAN Xiao-yun;XU Xiao-wei;QI Xiang-kun

作者机构：哈尔滨工业大学MEMS中心哈尔滨150001 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2006年第19卷第5B期

页      码：2240-2244页

摘      要：在分析微机械陀螺接口电路工作原理的基础上,采用中电集团第24研究所的3μm10VP-well标准模拟CMOS工艺设计并制作了微机械陀螺ASIC接口电路.电路HSPICE仿真灵敏度为0.252mV/aF.芯片面积为5.5mm×4.4mm,在此工艺流片并进行了芯片测试.结果表明,在10V电源电压下,其功耗为49.3mW,输出摆幅为4.85±3.1V,输出节点的零点偏离为0.15V.此芯片具有微陀螺驱动及信号检测功能,可实现与微陀螺敏感结构的双片集成.

主 题 词：CMOS 微机械陀螺 ASIC 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.246

馆 藏 号：203424609...