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Co扩散阻挡层模型的设计

Co扩散阻挡层模型的设计

作     者:霍晓 任家烈 鹿安理 

作者机构:清华大学 

出 版 物:《航空材料学报》 (Journal of Aeronautical Materials)

年 卷 期:1996年第16卷第4期

页      码:30-33页

摘      要:通过对Co扩散阻挡层在CVD过程中冶金行为的理论分析,建立了计算Co扩散阻挡层临界厚度δ临的数学模型。指出:阻挡层厚度δ≥δ临是抑制Co对金刚石沉积不良影响的必要条件。

主 题 词:扩散阻挡层 硬质合金  

学科分类:08[工学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录:

馆 藏 号:203424643...

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