砷化镓开管锌扩散及其扩散模型

作     者：刘文杰 陈海新 

作者机构：河北工学院电气工程系 秦皇岛市煤气公司 

出 版 物：《河北工学院学报》 (Journal of Hubei Polytechnic University)

年 卷 期：1990年第19卷第4期

页      码：35-41页

摘      要：本文利用特殊设计的石墨舟,作了GaAs开管Zn扩散实验,获得了质量较好的扩散片,取得了一系列实验结果,从而确定出最佳扩散条件.对不同扩散条件下的扩散片进行了SIMS测试,得到了Zn浓度反常分布曲线,提出一种新的扩散模型,对反常分布曲线给予了合理的解释.

主 题 词：半导体器件 砷化镓 开管扩散 锌 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203425094...