厚膜混合集成电容式加速度计

作     者：李燕 王玲 唐豫桂 LI Yan;WANG Ling;TANG Yu-gui

作者机构：河南农业大学机电工程学院450002 

基　　金：基金申请人:李燕 刘军 王玲 项目名称:机械工业中微弱信号检测技术研究 河南省科技攻关项目(082102210111) 

出 版 物：《微计算机信息》 (Control & Automation)

年 卷 期：2010年第26卷第4期

页      码：105-106,64页

摘      要：设计了电容式加速度计的信号检测电路,与电容式加速度计敏感单元进行联调和测试,并进行了标定。为减小体积,提高电容式加速度计的检测精度,采用厚膜混合集成工艺,将检测电路和电容式加速度计敏感单元集成于一体,并进行了电路测试和性能测试。测试数据表明,其测试精度提高了一个数量级,线性度和温度特性均有很大的改善。

主 题 词：电容式加速度计 微小电容检测 厚膜混合集成 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.2095-6835.2010.04.042

馆 藏 号：203425829...