光刻物镜波像差检测平台针孔对准装置的研制

作     者：齐克奇 QI Keqi

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033 

基　　金：02重大科技专项(2009ZX02005) 

出 版 物：《长春理工大学学报（自然科学版）》 (Journal of Changchun University of Science and Technology(Natural Science Edition))

年 卷 期：2012年第35卷第4期

页      码：46-48,45页

摘      要：针对光刻物镜波像差检测平台上的针孔定位的需求,设计了一种并联式二维微定位机构,并对该装置的结构特点进行了讨论。该结构具有良好的自解耦功能和较低温度敏感度。并通过有限元方法对针孔定位装置在受力状态下的变形情况进行了模拟,并进行了模态分析,证实了该针孔定位装置具有的特性能够很好地满足光刻物镜波像差检测的针孔定位需求。

主 题 词：光刻物镜波像差检测平台 针孔定位 自解耦 有限元方法 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-9870.2012.04.013

馆 藏 号：203427189...