预对准机与机械手相对坐标系标定

作     者：李学威 冯亚磊 张鹏 栾显晔 张金果 LI Xue-wei;FENG Ya-lei;ZHANG Peng;LUAN Xian-ye;ZHANG Jin-guo

作者机构：沈阳新松机器人自动化股份有限公司辽宁沈阳110168 

基　　金：国家科技重大专项/IC装备机械手及硅片传输系统系列产品研发与产业化(2009ZX02012) 

出 版 物：《机械设计与制造》 (Machinery Design & Manufacture)

年 卷 期：2013年第7期

页      码：185-187页

摘      要：在对预对准机建模仿真的基础上,根据晶圆预对准的误差精度分析结果,利用误差转化的方法将预对准机自身误差转化成预对准机与机械手相对坐标系误差,从而实现预对准机自身与相对坐标系的综合标定。针对预对准机与机械手相对坐标系的标定提出了多种方法,并选取了适用于实际情况的方法进行了标定实验,验证了方法的有效性。这种综合标定方法弥补了现有实验条件的不足,避免了对不易标定参数的直接标定,简化了标定过程,提高了设备初始安装与调试的效率。

主 题 词：晶圆预对准机 晶圆传输机器人 建模仿真 标定方法 相对坐标系 误差补偿 

学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程类] 08[工学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-3997.2013.07.059

馆 藏 号：203427423...